Arrow™ 系列 AFM 针尖 - 概述

一般信息

• 用于高分辨率成像的 SPM 和 AFM 探针
• 适用于所有知名的商业 SPM 和 AFM
• 悬臂和针尖由单晶硅支撑芯片支撑
• 支撑芯片、悬臂和针尖的整体设计

材料特性

• 高掺杂单晶硅（电阻率 0.01 - 0.025 Ohm•cm）
• 没有内在应力和绝对笔直的悬臂
• 用于流体或电化学电池的化学惰性硅

悬臂

• 带有三角形自由端的矩形悬臂
• 借助 Arrow™ 形状，可轻松将针尖定位在感兴趣的区域；
• 针尖和悬臂端之间的距离一致
• 具有宽探测器边的梯形横截面，便于激光调整

支持芯片

• 支持芯片的尺寸重现性非常好（3.4 毫米 x 1.6 毫米 x 0.3 毫米）
• 支撑芯片的蚀刻角避免了支撑芯片与样品之间的接触

针尖

• 针尖呈四面体形状，位于悬臂的最末端
• 针尖高度 10-15 µm，曲率半径通常
• 10 纳米（保证小于15纳米）
• 宏观半锥角
    - 为 30°至 35°沿悬臂轴观察
    - 为 20°至 25°从侧面看