全世界使用最广泛的、口碑最好的SPM、AFM探针,可适用于所有的市售SPM和AFM设备。
本包装为单组10个的高品质湿法刻蚀的硅探针,可用于轻敲模式™,动态模式和其他非接触模式检测
所有的探针均为行业标准的硅SPM和AFM探针,可用于高灵敏度和高分辨率成像适用于各种样品类型的轻敲模式、动态模式或空气中的非接触模式检测
Pointprobe®系列的所有SPM和AFM探针都是由高掺杂的硅片制成。这种探针材料可以消散静电,并具有化学惰性,还可提供高灵敏度的高机械Q因子。
悬臂形状 | 悬臂共振频率 kHz | 力常数 N/m | 长度 μm | 宽度 μm | ||||||||
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平均 | 最小 | 最大 | 平均 | 最小 | 最大 | 平均 | 最小 | 最大 | 平均 | 最小 | 最大 | |
矩形 | 10 | 4 | 16 | 0.1 | 0.03 | 0.2 | 450 | 440 | 460 | 35 | 33 | 37 |
此款探针具有对称形的针尖,可为200 nm以上的特征形貌提供更为对称的扫描结果。
形状: | (对称形貌) |
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探针高度: | 10-15 μm |
前角: | 15 +/- 2° |
后角: | 25 +/- 2° |
侧角: | 17.5 +/- 2° |
针尖半径(典型值): | 8 nm |
针尖半径 (可保证值): | 12 nm |
针尖后缩 (典型值): | 20 μm |
针尖后缩 (范围): | 15 – 25 μm |
镀层: 悬臂背面镀铝。 悬臂的背面上加了30 nm厚的铝涂层,可将激光束的反射率提高2.5倍,也可以预防悬臂内的光纤干涉。梯形截面的长方形悬臂,使得激光束的检测面增大了30%,也使得激光调节更简易更快速。
材料特点: | 高掺杂单晶硅 (电阻率为 0.01 - 0.025 Ohm•cm) |
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形状: | 矩形 |
悬臂数量: | 1 |
悬臂厚度: | 1.8 μm |
悬臂厚度 (范围) | 1.05 – 2.55 μm |
反射涂层: | 铝 |